M.Ohmukai, H.Naito, M.Okuda, K.Kurosawa, W.Sasaki T.Matsushita Y.Tsunawaki, S.Nozawa & T.Igarashi: "Silicon precipitation induced by argon excimer laser in surface layrs of Si_3N_4" Jpn.J.Appl.Phys.vol.32, Part2, #8A. L1062-L1065 (1993)
M.Ohmukai, H.Naito, M.Okuda, K.Kurosawa, W.Sasaki T.Matsushita Y.Tsunawaki, S.Nozawa & T.Igarashi: "Silicon precipitation induced by argon excimer laser in surface layrs of Si_3N_4" Jpn.J.Appl.Phys.vol.32, Part2, #8A. L1062-L1065 (1993)
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M.Ohmukai、H.Naito、M.Okuda、K.Kurosawa、W.Sasaki T.Matsushita Y.Tsunawaki、S.Nozawa
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