Influence of Electrode Size on Generation of Low-Pressure Coaxial ECR Micro Plasma
Influence of Electrode Size on Generation of Low-Pressure Coaxial ECR Micro Plasma
复制标题
电极尺寸对低压同轴ECR微等离子体产生的影响
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Fujiyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Kumamoto;H.Inoue;M.Matsushita;H.Fujiyama
