電気的制御機構を有するフォトニック結晶の作製のためのプロセス評価
電気的制御機構を有するフォトニック結晶の作製のためのプロセス評価
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具有电控机制的光子晶体制造工艺评估
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
野田 進
中科院分区：
文献类型：
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作者：
仲代 匡宏;浅野 卓;野田 進
