M.SHIOJIRI, S.SHINKAI, K.SASAKI, H.YANAGISAWA, Y.ABE: "Preparation of Low-Resistivity α-Ta Thin Films on (001) Si by Conventional DC Magnetron Sputtering"Japanese Journal of Applied Physics. Vol.42, No.7A. 4499-4500 (2003)
M.SHIOJIRI, S.SHINKAI, K.SASAKI, H.YANAGISAWA, Y.ABE: "Preparation of Low-Resistivity α-Ta Thin Films on (001) Si by Conventional DC Magnetron Sputtering"Japanese Journal of Applied Physics. Vol.42, No.7A. 4499-4500 (2003)
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M.SHIOJIRI、S.SHINKAI、K.SASAKI、H.YANAGISAWA、Y.ABE：“通过传统直流磁控管溅射在 (001) Si 上制备低电阻率 α-Ta 薄膜”日本应用物理学杂志卷。 42，第7A号4499-4500（2003）
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