Arifumi Okada, Kazunori Kijima: "Analysis of optical emission spectra from ICP of Ar-SiH_4-CH_4 system"Vacuum. 65. 319-326 (2002)
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Arifumi Okada、Kazunori Kijima：“Ar-SiH_4-CH_4 系统的 ICP 发射光谱分析”真空。
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