窒化インジウム薄膜の硬度・ヤング率と結晶特性の関係
窒化インジウム薄膜の硬度・ヤング率と結晶特性の関係
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氮化铟薄膜的硬度/杨氏模量与晶体性能的关系
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大久保泰，徳本有紀，出浦桃子，後藤頼良，沓掛健太朗，大野裕，米永一郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Deura;Y. Ohkubo;Y. Tokumoto;K. Kutsukake;Y. Ohno and I. Yonenaga;大久保泰，徳本有紀，出浦桃子，後藤頼良，沓掛健太朗，大野裕，米永一郎
