K.Sasaki 他: "Development of a compact nitrogen radical source by helicon-wave discharge employing a permanent magnet"Thin Solid Film.
K.Sasaki 他: "Development of a compact nitrogen radical source by helicon-wave discharge employing a permanent magnet"Thin Solid Film.
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K. Sasaki 等人：“利用永磁体通过螺旋波放电开发紧凑的氮自由基源”固体薄膜。
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