N2-Plasma Activated Bonding for GaInAsP/SOI Hybrid Lasers
N2-Plasma Activated Bonding for GaInAsP/SOI Hybrid Lasers
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用于 GaInAsP/SOI 混合激光器的 N2 等离子体激活键合
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Nobuhiko Nishiyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Martinez-Calderon;C.;K. Shiokawa ;Y. Miyoshi ;K. Keika ;M. Ozaki ;I. Schofield ;M. Connors ;C. Kletzing ;M. Hanzelka ;O. Santolik ;and W. Kurth;K. Akiyoshi;Nobuhiko Nishiyama
