凝縮性ガス下でのナノインプリントにおけるモールド全域の樹脂の充填観察
凝縮性ガス下でのナノインプリントにおけるモールド全域の樹脂の充填観察
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观察可凝性气体下纳米压印过程中树脂在整个模具中的填充情况
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
尹 成圓
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鈴木 健太;尹 成圓
