プロセスガス制御によるグラフェンの層数制御およびFETの作製

プロセスガス制御によるグラフェンの層数制御およびFETの作製
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通过工艺气体控制控制石墨烯层数和 FET 制造

DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
須田善行
須田善行
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
松原 暉;市川和典;赤松 浩;須田善行

文献摘要

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