電流検出型原子間力顕微鏡法を用いた極薄Si酸窒化膜の劣化現象の観察
電流検出型原子間力顕微鏡法を用いた極薄Si酸窒化膜の劣化現象の観察
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电流检测原子力显微镜观察超薄氮氧化硅薄膜的退化现象
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
財満鎭明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
加藤雄三;平安座朝誠;坂下満男;近藤博基;財満鎭明
