射频溅射功率对AZO薄膜结构及光电特性和热稳定性的影响
射频溅射功率对AZO薄膜结构及光电特性和热稳定性的影响
复制标题
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
吕有明
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
马晓翠;叶家聪;曹培江;柳文军;贾芳;朱德亮;吕有明
