Possibility of Ultra-Ultra High Pressure Polishing of Magnetic Disk Substrate

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磁盘基板超超高压抛光的可能性

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Proc. 6th International Conference and 10th annual general meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology
影响因子：
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通讯作者：
Takuya NIKI
Takuya NIKI
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Heiji YASUI;Kanta YAMAGUCHI;Takuya NIKI

文献摘要

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