Recent Advances in Fabricating Wurtzite AlN Film on (0001)-Plane Sapphire Substrate

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DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
Crystals
影响因子：
2.7
通讯作者：
Chen Zhitao
Chen Zhitao
中科院分区：
材料科学3区
文献类型：
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作者：
Wu Hualong;Zhang Kang;He Chenguang;He Longfei;Wang Qiao;Zhao Wei;Chen Zhitao

文献摘要

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