炭化珪素単結晶の製造方法および該製造方法により得られる炭化珪素単結晶

炭化珪素単結晶の製造方法および該製造方法により得られる炭化珪素単結晶
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碳化硅单晶的制造方法及由该制造方法得到的碳化硅单晶

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发表时间:
2009
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