S.Miyake: "Characterization of ECR Process Plasma and Film Deposition" Proc.of 2nd Inter.Conf.on Plasma Surface Engineering. 2. (1990)
S.Miyake: "Characterization of ECR Process Plasma and Film Deposition" Proc.of 2nd Inter.Conf.on Plasma Surface Engineering. 2. (1990)
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S.Miyake：“ECR 工艺等离子体和薄膜沉积的表征”Proc.of 2nd Inter.Conf.on Plasma Surface Engineering。
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