原料分子によるプラズマプロセスの制御について
原料分子によるプラズマプロセスの制御について
复制标题
使用原材料分子控制等离子体过程
DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
篠原正典,猪原武士,柳生義人,大島多美子,川崎仁晴
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Masanori Shinohara;Naoki Maruno;Yoshiki Takami;Susumu Takabayashi;Yoshinobu Matsuda;篠原正典,冨永泰佑,下村勇登,猪原武士,柳生義人,大島多美子,川崎仁晴;篠原正典,猪原武士,柳生義人,大島多美子,川崎仁晴;篠原正典,猪原武士,柳生義人,大島多美子,川崎仁晴;篠原正典,猪原武士,柳生義人,大島多美子,川崎仁晴;篠原正典,猪原武士,柳生義人,大島多美子,川崎仁晴