静電駆動型金ナノグレーティング位相差変調器における内部応力の制御

静電駆動型金ナノグレーティング位相差変調器における内部応力の制御
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静电驱动金纳米光栅相位差调制器内应力的控制

DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
岩見 健太郎
岩見 健太郎
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
湖東 裕士;志村 崇;安 忠烈;岩見 健太郎

文献摘要

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