低エネルギー電子線照射を施したp型4H-SiCにおける再結合中心の評価
低エネルギー電子線照射を施したp型4H-SiCにおける再結合中心の評価
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低能电子束照射下 p 型 4H-SiC 复合中心的评估
DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
大島武
中科院分区:
文献类型:
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作者:
吉原一輝;加藤正史;市村正也;畑山智亮;大島武