Strain mapping near Si/SiGe interfaces using HOLZ line CBED patterns
Strain mapping near Si/SiGe interfaces using HOLZ line CBED patterns
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使用 HOLZ 线 CBED 图案在 Si/SiGe 界面附近进行应变映射
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中信夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
齋藤晃;濱邊麻衣子;田中信夫
