H.Sunami: "Fundamental Characteristics of Crystallographic Orientation-Dependent TMAH Etching and Its Application To Three-Dimensional Silicon"Sensors and Actuators A : Physical. NA(In press). (2003)
H.Sunami: "Fundamental Characteristics of Crystallographic Orientation-Dependent TMAH Etching and Its Application To Three-Dimensional Silicon"Sensors and Actuators A : Physical. NA(In press). (2003)
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H.Sunami：“晶体取向相关的 TMAH 蚀刻的基本特性及其在三维硅中的应用”传感器和执行器 A：物理。
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