Preparation and characterization of nitrogen/silicon-incorporated diamond-like carbon films
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复制标题
氮/硅掺入类金刚石碳膜的制备及表征
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Suzuki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Nakazawa;K. Nakamura;H. Ohashi;T. Yokoyama;K. Tajima;N. Endo;M. Suemitsu;Y. Enta;Y. Kobayashi;Y. Suzuki
