Electrical properties of high-κ gate dielectrics: Challenges, current issues, and possible solutions
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DOI：
10.1016/j.mser.2006.04.001
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发表时间：
2006-04
影响因子：
31
通讯作者：
M. Houssa;L. Pantisano;L. Ragnarsson;R. Degraeve;T. Schram;G. Pourtois;S. Gendt;G. Groeseneken;M. Heyns
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Houssa;L. Pantisano;L. Ragnarsson;R. Degraeve;T. Schram;G. Pourtois;S. Gendt;G. Groeseneken;M. Heyns
