ダイヤモンドライクカーボン膜のプラズマCVD製膜および透過特性評価
ダイヤモンドライクカーボン膜のプラズマCVD製膜および透過特性評価
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类金刚石碳膜的等离子体CVD成膜及渗透性能评价
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
都留 稔了
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長澤 寛規;金指 正言;吉岡 朋久;都留 稔了
