角田茂,他: "Ar-RF放電プラズマの周波数特性" 電気学会放電研資. ED-90-23. 21-30 (1990)
角田茂,他: "Ar-RF放電プラズマの周波数特性" 電気学会放電研資. ED-90-23. 21-30 (1990)
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Shigeru Tsunoda 等人：“Ar-RF 放电等离子体的频率特性”IEEJ 放电研究基金。 ED-90-30 (1990)。
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