Nanomachining on Si (100) Surfaces Using an Atomic Force Microscope with Lateral Force Transducer
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DOI：
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发表时间：
2003-02
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Ichida;Y. Morimoto;M. Murakami;R. Sato
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Ichida;Y. Morimoto;M. Murakami;R. Sato
