Kinetics of Deposition of Cu Thin Films in Supercritical Carbon Dioxide Solutions from a F-Free Copper(II) -Diketone Complex
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无氟铜(II)-二酮配合物在超临界二氧化碳溶液中沉积铜薄膜的动力学
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Eiichi Kondoh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masahiro Matsubara;Michiru Hirose;Kakeru Tamai;Yukihiro Shimogaki;and Eiichi Kondoh
