Nobuki Mutsukura: "Temperature dependence of a-C:H film deposition in a CH_4 rf plasma" Journal of Vacuum Science & Technology. (発表予定).
Nobuki Mutsukura: "Temperature dependence of a-C:H film deposition in a CH_4 rf plasma" Journal of Vacuum Science & Technology. (発表予定).
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Nobuki Mutsukura:“CH_4 rf 等离子体中 a-C:H 薄膜沉积的温度依赖性”真空科学与技术杂志(待出版)。
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