K. Nakamura, M. Tanaka and H. Sugai: "Energy Measurements of Sheath-Accelerated Secondary Electrons in Plasma Immersion Ion Implantation"Surface and Coating Technology. (to be published).
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K. Nakamura、M. Tanaka 和 H. Sugai：“等离子体浸没离子注入中鞘加速二次电子的能量测量”表面和涂层技术。
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