Scanning measurement of step height and freeform surface by using optically trapped microsphere
Scanning measurement of step height and freeform surface by using optically trapped microsphere
复制标题
使用光捕获微球扫描测量台阶高度和自由曲面
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Terutake Hayashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masaki Michihata;Yasuhiro Takaya;Taisuke Washitani;Terutake Hayashi
