T.Shozi: "Control of Hydrocarbon Radicals and Film Deposition in a Magnetic Mirron Plasma" Proc.of 7th Symp.on Plasma Processing,Tokyo,1990. 25-28 (1990)
T.Shozi: "Control of Hydrocarbon Radicals and Film Deposition in a Magnetic Mirron Plasma" Proc.of 7th Symp.on Plasma Processing,Tokyo,1990. 25-28 (1990)
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T.Shozi:“磁镜等离子体中碳氢化合物自由基和薄膜沉积的控制”Proc.of 7th Symp.on Plasma Process,东京,1990。
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