Glow Discharge Optical Emission Spectrometry (GDS)

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辉光放电发射光谱法 (GDS)

DOI：
10.3323/jcorr1991.42.384
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发表时间：
1993
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kenichi. Suzuki
Kenichi. Suzuki
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Kenichi. Suzuki

文献摘要

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介绍了辉光放电发射光谱法的原理、装置和测量方法。GDS的应用包括电镀膜、氧化膜、钛吸氢层、钢注入层和绝缘膜的表面分析。
Principle, apparatus and measurement method of glow discharge optical emission spectrometry (GDS) have been described. Applications of GDS include surface analysis of electroplated film, oxide film, hydrogen absorption layer of titanium, implanted layer of steel, and insulation films.