LARGE FIGURE-OF-MERIT EPITAXIAL PB(MN,NB)O3-PB(ZR,TI)O3/SI TRANSDUCER FOR PIEZOELECTRIC MEMS SENSORS
LARGE FIGURE-OF-MERIT EPITAXIAL PB(MN,NB)O3-PB(ZR,TI)O3/SI TRANSDUCER FOR PIEZOELECTRIC MEMS SENSORS
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用于压电 MEMS 传感器的大品质因数外延 PB(MN,NB)O3-PB(ZR,TI)O3/SI 传感器
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Shuji Tanaka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroaki Hanzawa;Shinya Yoshida;Kiyotaka Wasa;and Shuji Tanaka
