中村 等: "焼成貝殻セラミックスによるシリコンウエハのポリシング特性"2003年度 精密工学会東北支部学術講演会 講演論文集. 33-34 (2003)

中村 等: "焼成貝殻セラミックスによるシリコンウエハのポリシング特性"2003年度 精密工学会東北支部学術講演会 講演論文集. 33-34 (2003)
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Nakamura等人:“使用烧制壳陶瓷的硅晶片的抛光特性”2003年精密工程学会东北分会学术会议论文集33-34(2003)。

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