Machining of Micro Groove of Lithium Niobate by Planer-type Cutting with Diamond Tool for Fabrication of SAW device
Machining of Micro Groove of Lithium Niobate by Planer-type Cutting with Diamond Tool for Fabrication of SAW device
复制标题
金刚石刀具平面切削加工铌酸锂微槽用于制造声表面波器件
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
and Y. Utsumi
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
K. Okuda;M. Harada;H. Shizuka;T. Saiki;K. Hamaguchi;and Y. Utsumi
