铝离子注入到4H-SiC的表面粗糙度和离子激活研究
铝离子注入到4H-SiC的表面粗糙度和离子激活研究
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DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
汤晓燕
中科院分区：
文献类型：
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作者：
宋庆文;张玉明;张义门;汤晓燕
