J.Matsuo,I.Yamada: "Oxide Film Deposition by Gas-Cluster Ion Assisted Deposition"Applications of Accelerators in Research and Industry. 425 (1999)
J.Matsuo,I.Yamada: "Oxide Film Deposition by Gas-Cluster Ion Assisted Deposition"Applications of Accelerators in Research and Industry. 425 (1999)
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J.Matsuo，I.Yamada：“气体团簇离子辅助沉积氧化膜沉积”加速器在研究和工业中的应用。
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