Junji Senzaki: "Characterization of Pb (Zr, Ti) O3 thin films on Si substrates using MgO intermediate layer for metal/ferroelectric/insulator/semiconductor field effect transistor devices." Japanese Journal of Applied Physics. 37. 5150-5153 (1998)

Junji Senzaki: "Characterization of Pb (Zr, Ti) O3 thin films on Si substrates using MgO intermediate layer for metal/ferroelectric/insulator/semiconductor field effect transistor devices." Japanese Journal of Applied Physics. 37. 5150-5153 (1998)
复制标题

Junji Senzaki:“使用用于金属/铁电体/绝缘体/半导体场效应晶体管器件的 MgO 中间层对 Si 基板上的 Pb (Zr, Ti) O3 薄膜进行表征。”

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献