パルスバイアスプラズマで作製したDLC-Si膜の摩擦特性
パルスバイアスプラズマで作製したDLC-Si膜の摩擦特性
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脉冲偏压等离子体制备DLC-Si薄膜的摩擦性能
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
立花裕也，池永訓昭，花岡良一，作道訓之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
馬場 達也;イエ リム;上野 藍;多喜川 良;米谷 玲皇;前田 悦男;吉田透真;立花裕也，池永訓昭，花岡良一，作道訓之;吉川泰晴，鈴木達博，王志剛，小坂田宏造;Etsuo Maeda;立花裕也，池永訓昭，花岡良一，作道訓之
