E.Kusano, M.Kitagawa, H.Nannto, and A.Kinbara: "A Hardness Enhancement by Compositionally Modulated Structure of Ti/TiN Multilayr Films" Journal of Vacuum Science and Technology. (in press).
E.Kusano, M.Kitagawa, H.Nannto, and A.Kinbara: "A Hardness Enhancement by Compositionally Modulated Structure of Ti/TiN Multilayr Films" Journal of Vacuum Science and Technology. (in press).
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E.Kusano、M.Kitakawa、H.Nannto 和 A.Kinbara：“通过 Ti/TiN 多层薄膜的成分调制结构提高硬度”真空科学与技术杂志。
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