超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータの開発【解説】
超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータの開発【解説】
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超精密定位气动伺服轴承执行器的开发【解说】
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐々木勝美
中科院分区：
文献类型：
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作者：
平山朋子;佐々木勝美
