伴野達也: "小型質量分析計を用いたスパタリングプロセス中の粒子計測" 真空. 40・3. (1997)

伴野達也: "小型質量分析計を用いたスパタリングプロセス中の粒子計測" 真空. 40・3. (1997)
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坂野达也:“使用小型质谱仪测量溅射过程中的粒子”真空40・3。

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