Fabrication of Probe Tips for Nanoscale 3D Metrology
Fabrication of Probe Tips for Nanoscale 3D Metrology
复制标题
用于纳米级 3D 计量的探针尖端的制造
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Nagata R and Fujiyoshi K
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Uchiyama K;Murakami H;Katsuki A;Sajima T;Yamamoto T;Nagata R and Fujiyoshi K
