高速エアースピンドルに組み込んだ能動動圧軸受による微少位置決め

高速エアースピンドルに組み込んだ能動動圧軸受による微少位置決め
复制标题

使用内置于高速空气主轴中的主动动压轴承进行微定位

DOI:
--
复制
发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
田添洋一
田添洋一
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
水本 洋;薮田義人;有井士郎;広瀬智宏;田添洋一

文献摘要

相似文献