氧等离子体处理提高AlGaN/GaN肖特基势垒高度

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DOI:
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发表时间:
2020
期刊:
半导体技术
影响因子:
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通讯作者:
赵勇兵
赵勇兵
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
赵勇兵

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