Fabrication of Radio-frequency Identification Antenna Patterns on an IC Chip by Ultraviolet Nanoimprint Lithography
Fabrication of Radio-frequency Identification Antenna Patterns on an IC Chip by Ultraviolet Nanoimprint Lithography
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采用紫外纳米压印光刻技术在 IC 芯片上制作射频识别天线图案
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木健太,倉島優一,尹成圓,高木秀樹,廣島洋,大島清志,小林英樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Sung-Won Youn;Kenta Suzuki;and Hiroshi Hiroshima;久住 孝幸，池田 洋，越後谷 正見，中村 竜太， 赤上 陽一;Takeshi Yamaguchi;鈴木健太,倉島優一,尹成圓,高木秀樹,廣島洋,大島清志,小林英樹
