Elemental Distribution Analysis in Silicon-Based Semiconductor Devices
Elemental Distribution Analysis in Silicon-Based Semiconductor Devices
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硅基半导体器件中的元素分布分析
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Inoue
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岡本 隼人;山本 圭介;王 冬;中島 寛;K. Tada;K. Inoue
