ACTIVE CONTROL OF OXIDATION OF A SILICON CANTILEVER FOR THE CHARACTERIZATION OF SILICON-BASED SEMICONDUCTORS
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主动控制硅悬臂梁的氧化以表征硅基半导体
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Satoshi Kawata
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kyoko Masui;Atsushi Ono;Yuika Saito;Taro Ichimura;Norihiko Hayazawa;Prabhat Verma;Yasushi Inouve;Satoshi Kawata
