Deposition of nitrogen-doped titanium dioxide thin films via rf magnetron sputtering
Deposition of nitrogen-doped titanium dioxide thin films via rf magnetron sputtering
复制标题
射频磁控溅射沉积氮掺杂二氧化钛薄膜
DOI：
--
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
M. Vasquez Jr.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Martinez;T. Onuma;H. Nagai;T. Honda;S. Aikawa;T. Yamaguchi;M. Vasquez Jr.
