バイポーラPBII法によるトレンチ形状物へのDLCコーティング-プラズマ挙動解析
バイポーラPBII法によるトレンチ形状物へのDLCコーティング-プラズマ挙動解析
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使用双极 PBII 方法在沟槽形状物体上进行 DLC 涂层 - 等离子体行为分析
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
崔埈豪
中科院分区：
文献类型：
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作者：
平田祐樹;朴元淳;加藤孝久;崔埈豪
